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半導體工業(yè)氣浮式隔振器結構力學
半導體工業(yè)氣浮式隔振器具有測量、生產(chǎn)加工技術、材料與集成電路技術、電子器件技術、半導體工業(yè)氣浮式隔振器的使用越來越普遍。例如，承載所有暴露組件的光刻技術可測量框架...
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被動式空氣彈簧隔振器使用性能用途
被動式空氣彈簧隔振器主要分為以下幾類,其中最常見的就是橡膠空氣彈簧減震器，還有金屬空氣彈簧減震器。金屬空氣彈簧減震器目前已經(jīng)快要取代橡膠隔振 器，因為它不易老化,使用...
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被動式空氣彈簧隔振器的靜態(tài)數(shù)據(jù)結構振動
一般控制線性彈簧阻尼器減震設備的基礎沉降，其組裝基礎的沉降偏移量決定系統(tǒng)軟件的基頻，因此，被動式空氣彈簧隔振器的靜態(tài)基礎沉降與線性減振系統(tǒng)軟件的基頻偏移。考慮到具...
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光學平臺氣動隔振器內部結構
光學平臺氣動隔振器內部結構在許多情況下對機器的減震效果十分明顯。無論是一些易碎的還是微妙的產(chǎn)品，都能通過氣浮膜式空氣彈簧有效地實現(xiàn)精細化生產(chǎn)，追求速度和效率。由于...
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光學平臺空氣隔振器彈性曲線
由于動能大，許多工業(yè)生產(chǎn)設備在工作時會產(chǎn)生嚴重的振動。一般來說，這些設備本身會進行一些減震處理，光學平臺空氣隔振器會安放在儀器的下方。但是，雖然彈簧可以減少振動，...
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半導體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺控制系統(tǒng)
半導體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺控制系統(tǒng),用于半導體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺,包括:至少三個高度閥,所述高度閥位于所述空氣彈簧隔振平臺下部充氣的氣路上,每個高度閥對應設置在一...
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